Свържете се с нас generico

Свържете се с нас

+359 2978 56 36

+359 2978 95 68

 

siad@siad.bg

Фосфин

Фосфинът, PH3, е безцветен, отровен, запалим и втечнен газ под високо налягане.

Приложения
В производството на полупроводници фосфина се използва за:

  • като n-легираш газ, за епитаксиален силиций (обикновено в смеси на база водород с висока чистота, с концентрация измеревана в ppm), за легиране на избрани райони от силициеви полупроводникови пластини, използвайки техники на отлагане/дифузия за формирането на структури като:емитери, сорс-дрейн, и колекторни контакти (обикновенно в смеси на база азот с висока концентрация в ppm или проценти)
  • за легиране на поликристален силиций за свързващи поводници или определени кондензатори
  • за формиране на борофосфосиликатно стъкло(особено в смеси със силан) и
  • йонна имплантация (обикновено в смеси на база водород 15% PH3, достяни в малки бутилки).

Съвместимост на материалите
Метали: месинг, неръждаема стомана, въглеродна стомана, монел.
Пластмаси: Kel-F; PTFE, FEP, и PFA флуорополимерни смоли; PVDF; Kalrez.
Еластомери: витон; Buna-N; неопрен; полиуретан.

Технически характеристики
Молекулна маса: 34.00
Специфично тегло (въздух = 1): 1.18
Мирис: на развалена риба
Регистрационен номер по CAS: 7803-51-2