Hydrogen chloride header
Хлороводород
Свържете се с нас generico
Hydrogen chloride
Хлороводород, HCl, е безцветен, токсичен, корозионно активен газ, доставян при налягане на парите си от 613 psig (4,200 kPa) при температура 70°F (21°C).
Приложения
В производството на полупроводници хлороводородът се използва за:
- ецване на естествени оксиди преди епитаксиално утаяване
- почистване на cvd реактор, за извличане на влага от cvd оксиди.
Съвместимост на материалите
Метали: неръждаема стомана, въглеродна стомана, монел.
Пластмаси: Kel-F, PTFE, FEP, и PFA Флуорополимерни смоли, Tefzel, PVDF, поливинилхлорид, Kalrez.
Еластомери: витон, полиуретан.
Технически характеристики
Молекулна маса: 36.46
Специфично тегло (въздух=1): 1.3
Мирис: дразнещ
Регистрационен номер по CAS: 7647-01-0