Semiconductor - header

Полупроводници

Contact Us

Свържете се с нас

+359 2978 56 36

+359 2978 95 68

 

siad@siad.bg

Semiconductor - main

Технологичните газове на СИАД се използват във всички етапи на производството на полупроводници – от нарастването на единичния кристален силиций до всяка стъпка на изработване на пластината: окисляване, химично парофазно отлагане, разпрашаване, нанасяне на защитно покритие, ецване, термична дифузия и йонна имплантация.

Приложения на газовете в производството на полупроводници
Надеждната доставка на газове с висока степен на чистота е особено важна за съвременното производство на полупроводници. За производството на интегрални схеми са необходими над 30 различни технологични газове за ецване, отлагане, окисляване, легиране и продухване с инертни газове. Диапазонът на използваните газове е много по-голям в сравнение с всяка друга промишленост. Необходимо е измерване и отстраняване на замърсяванията, които са от порядъка на части на милион, части на милиард и дори части на трилион.

Технологичните газове в сектора на производство на полупроводници се класифицират като:

  • силициеви източници
  • легиращи газове
  • газове за ецване
  • газове за създаване на среда
  • реагенти.

Тези газове включват азот и кислород, произвеждани на място чрез въздухоразделяне или доставяни като криогенна течност, аргон, доставян като криогенна течност и водород, доставян като сгъстен газ.
Азотът се използва широко в много процеси за осигуряване на инертна среда или за отстраняването на реактивни газове след завършване на процесите.
Кислородът се използва за окисляване на силиций - един от най-важните процеси в производството на полупроводници.
Аргонът се използва за осигуряване на инертна среда за разпрашаване на метали (когато дори азотът е прекалено реактивен и води до образуване на метални нитриди).
Водородът, доставен в големи съдове като криогенна течност или произведен на място, се използва за осигуряване на възстановяваща среда за отгряване на метални филми.
Пълната гама от технологични газове за производство на полупроводници на СИАД осигурява надеждност и последователност независимо от това къде се намира производствената база.