Contact us generico

Kontaktujte nás

Telefon: 235 097 520 

Fax:      235 097 525

siad@siad.cz

 

Arsine

Arsin, AsH3, je bezbarvý, jedovatý, hořlavý, zkapalněný, stlačený plyn.

Aplikace
Čistý arsin se používá:

  • ve výrobě polovodičů; arsin je dopant n-typu pro epitaxiální křemík (často ve směsi s vodíkem);
  • pro dopování vybraných částí křemíkového plátku použitím technik nanášení/difúze pro vytvoření mělkých struktur, jako jsou emitory nebo kontakty source/drain (obvykle ve směsi s dusíkem o koncentracích ppm až procento);
  • nebo pro dopování vybraných částí použitím implantace iontů (často ve směsi s vodíkem);
  • v různých chemických reakcích.

Kompatibilita materiálů
Kovy: mosaz; nerezová ocel; uhlíková ocel; měď; Monelův kov; Hastelloy C;
Plasty: Kel-F; PTFE; nylon;
Elastomery: Viton.

Technické vlastnosti
Molekulová hmotnost: 77.95
Specifická hmotnost (vzduch = 1): 2.7
Zápach: po česneku
CAS registrační číslo: 7784-42-1