Atmospherics gases header

Vzdušné plyny

Contact us generico

Kontaktujte nás

Telefon: 235 097 520 

Fax:      235 097 525

siad@siad.cz

 

Atmospherics gases

Atmosférické / profukovací plyny se používají k profukování určitých provozních systémů a zařízení, když má výrobce polovodičů obavy z možné zpětné kontaminace profukovacích vedení v závodě.

SIAD dodává úplný sortiment atmosférických plynů.

Dusík, kyslík, vodík, argon a helium jsou dodávány výrobcům polovodičů v tlakových lahvích a rovněž ve větších hromadných dodávkách. Některé procesy, jako rozprašování, požadují pouze malá množství plynů, kdy použití např. jedné tlakové láhve argonu je ekonomičtější. Technologie rozprašování vyžaduje provoz za podmínek vakua a urychlujících argonových iontů v elektrickém poli. 
Prostřednictvím fyzikálního bombardování vyrážejí argonové ionty atomové nebo molekulové klastry z povrchu pevného terče. Vyražený materiál se nanáší na plátek a stěny rozprašovací komory.

Další použití atmosférických plynů:

  • helium pro chlazení zadní strany;
  • vodík pro žíhání kovů;
  • kyslík pro leptání polymerů;
  • fluorované uhlovodíky pro leptání oxidu křemičitého a nitridu křemíku.
 

Dusík, N2, je bezbarvý, nehořlavý, vysokotlaký plyn. Působí jako jednoduchá dusivá látka vytěsněním vzduchu.

Aplikace
V polovodičovém průmyslu se dusík používá:

  • jako nosný plyn, zejména v difúzních procesech;
  • jako profukovací plyn.

 

Zvláště dusík čistoty 6.0 může být zejména potřebný jako nosný plyn při výrobě VLSI a ULSI zařízení, vzhledem k extrémně nízkým úrovním uhlíkových a kyslíkových nečistot.

Kompatibilita materiálů
Kovy: mosaz; nerezová ocel; uhlíková ocel; hliník; zinek; měď; Monelův kov. 
Plasty: Kel-F; PTFE; FEP a PFA fluoropolymerní pryskyřice; Tefzel; PVDF; PVC; Kalrez. 
Elastomery: Viton; Buna-N; Neopren; polyuretany.

Technické vlastnosti: 
Molekulová hmotnost: 28,01
Specifická hmotnost (vzduch = 1) : 0,97
Zápach: žádný
CAS registrační číslo: 7727-37-9

Navigation Menu