Chlorid boritý header

Chlorid boritý

Contact us generico

Kontaktujte nás

Telefon: 235 097 520 

Fax:      235 097 525

siad@siad.cz

 

Chlorid boritý

Chlorid boritý, BCl3, je bezbarvá, toxická, nehořlavá, korozívní kapalina dopravovaná při tlaku nasycených par 30 kPa při 21°C.

Aplikace
V polovodičovém průmyslu se chlorid boritý používá při:

  • difúzi p-typu v křemíku;
  • implantaci iontů;
  • plazmovém leptání kovů;

Kompatibilita materiálů
Kovy: nerezová ocel; uhlíková ocel; Monelův kov. 
Plasty: Kel-F; PTFE; FEP a PFA fluoropolymerní pryskyřice; Tefzel; PVDF; PVC. 
Elastomery: Viton.

Technické vlastnosti: 
Molekulová hmotnost: 117,17
Specifická hmotnost (vzduch = 1) : 4,0
Zápach: pronikavý, dráždivý
CAS registrační číslo: 10294-34-5