Fluorid boritý header
Fluorid boritý
Contact us generico
Fluorid boritý
Fluorid boritý, BF3, je bezbarvý, toxický, nehořlavý, korozívní, vysokotlaký plyn.
Aplikace
V polovodičovém průmyslu se fluorid boritý používá:
- pro difúzi p-typu v křemíku;
- v implantaci iontů;
Kompatibilita materiálů
Kovy: mosaz; nerezová ocel; uhlíková ocel; měď; Monelův kov;
Plasty: Kel-F; PTFE; FEP a PFA fluoropolymerní pryskyřice; Tefzel; PVC; PVDF.
Elastomery: Viton
Technické vlastnosti:
Molekulová hmotnost: 67,81
Specifická hmotnost (vzduch = 1) : 2,4
Zápach: pronikavý, dusivý
CAS registrační číslo: 7637-07-2