Fluorid boritý, BF₃, je bezbarvý, toxický, nehořlavý, korozívní, vysokotlaký plyn.

Aplikace
V polovodičovém průmyslu se fluorid boritý používá:

• pro difúzi p-typu v křemíku;
• v implantaci iontů;

Kompatibilita materiálů
Kovy: mosaz; nerezová ocel; uhlíková ocel; měď; Monelův kov; 
Plasty: Kel-F; PTFE; FEP a PFA fluoropolymerní pryskyřice; Tefzel; PVC; PVDF. 
Elastomery: Viton

Technické vlastnosti: 
Molekulová hmotnost: 67,81
Specifická hmotnost (vzduch = 1) : 2,4
Zápach: pronikavý, dusivý
CAS registrační číslo: 7637-07-2