Contact us generico

Kontaktujte nás

Telefon: 235 097 520 

Fax:      235 097 525

siad@siad.cz

 

Silicon Tetrachloride

Chlorid křemičitý, SiCl4, je bezbarvá, toxická, nehořlavá, korozívní kapalina s tlakem nasycených par 26 kPa při 21°C.

Aplikace
V polovodičovém průmyslu se chlorid křemičitý používá pro:

  • aplikace epitaxiálního křemíku;
  • plazmové leptání kovů.

Kompatibilita materiálů
Kovy: nerezová ocel; uhlíková ocel; Monelův kov. 
Plasty: Kel-F, PTFE; FEP a PFA fluoropolymerní pryskyřice; PVDF.

Technické vlastnosti: 
Molekulová hmotnost: 169,90
Specifická hmotnost (vzduch = 1) : 5,8
Zápach: pronikavý, dusivý
CAS registrační číslo: 10026-04-7