Hydrogen chloride header

Chlorovodík

Contact us generico

Kontaktujte nás

Telefon: 235 097 520 

Fax:      235 097 525

siad@siad.cz

 

Hydrogen chloride

Chlorovodík, HCl, je bezbarvý, toxický, korozívní plyn dopravovaný při tlaku nasycených par 4.200 kPa při 21°C.

Aplikace
V polovodičovém průmyslu se chlorovodík používá k:

  • leptání nativního oxidu před epitaxiálním nanášením;
  • čištění CVD reaktorů, jako getr vlhkosti v CVD oxidech.

Kompatibilita materiálů
Kovy: nerezová ocel; uhlíková ocel; Monelův kov. 
Plasty: Kel-F; PTFE; FEP a PFA fluoropolymerní pryskyřice; Tefzel; PVDF; PVC; Kalrez. 
Elastomery: Viton; polyuretany.

Technické vlastnosti: 
Molekulová hmotnost: 36,46
Specifická hmotnost (vzduch = 1) : 1,3
Zápach: dráždivý
CAS registrační číslo: 7647-01-0