Diboran | SIAD

Diboran, B₂H₆, je bezbarvý, jedovatý, hořlavý, vysokotlaký plyn.

Aplikace
V polovodičovém průmyslu se diboran používá:

• jako dopant p-typu, pro epitaxiální křemík (obvykle v ppm koncentracích ve směsích s vodíkem jako bilančním plynem);
• pro dopování vybraných oblastí křemíkového plátku použitím technik nanášení/difúze (obvykle ve vysokých ppm koncentracích ve směsích s dusíkem;
• při dopování polykrystalického křemíku ve spojovacích členech nebo určitých kondenzátorech;
• při výrobě borofosfosilikátových skel (obvykle v procentických koncentracích ve směsích se silanem).

Kompatibilita materiálů
Kovy: mosaz; nerezová ocel; uhlíková ocel; měď; Monelův kov. 
Plasty: Kel-F; PTFE; FEP a PFA fluoropolymerní pryskyřice; Tefzel; PVDF; Kalrez. 
Elastomery: Viton.

Technické vlastnosti: 
Molekulová hmotnost: 27,67
Specifická hmotnost (vzduch = 1) : 0,95
Zápach: odpudivý, odporně sladký
CAS registrační číslo: 19287-45-7