Contact us generico

Kontaktujte nás

Telefon: 235 097 520 

Fax:      235 097 525

siad@siad.cz

 

Dichlorsilan

Dichlorsilan, SiH2Cl2 je bezbarvá, toxická, hořlavá, korozívní, kapalina dodávaná při tlaku nasycených par 63 kPa při 21°C. )

Aplikace
V polovodičovém průmysly se dichlorsilan se používá pro:

  • růst epitaxiálního a polykrystalického křemíku;
  • nanášení chemických par oxidu křemičitého, nitridu křemíku a silicidu wolframu;

Dichlorsilan o vyšší čistotě nachází uplatnění při vysoce čistém nanášení, jako je epi pro CMOS, které vyžaduje velmi nízké hodnoty uhlíkových a kovových nečistot.

Kompatibilita materiálů
Kovy: mosaz; nerezová ocel; uhlíková ocel; měď; Monelův kov. 
Plasty: Kel-F; PTFE; FEP a PFA fluoropolymerní pryskyřice; Tefzel; Kalrez; PVDF. 
Elastomery: Viton.

Technické vlastnosti: 
Molekulová hmotnost: 101,01
Specifická hmotnost (vzduch = 1) : 3,52
Zápach: pronikavý, dusivý
CAS registrační číslo: 4109-96-0