Contact us generico

Kontaktujte nás

Telefon: 235 097 520 

Fax:      235 097 525

siad@siad.cz

 

Disilan

Disilan, Si2H6, je pyroforický, bezbarvý plyn.

Aplikace
Ve výrobě polovodičů se disilan používá pro:

  • rychlé nanášení epitaxiálního křemíku, amorfního křemíku a dielektrik na bázi křemíku při nízkých teplotách.

Kompatibilita materiálů
Kovy: nerezová ocel; uhlíková ocel. 
Plasty: Kel-F; Tefzel. 
Elastomery: Viton; Neopren.

Technické vlastnosti: 
Molekulová hmotnost: 62,22
Specifická hmotnost (vzduch = 1) : 2,3
Zápach: odpudivý
CAS registrační číslo: 1590-87-0