Silicon tetrafluoride header

Fluorid křemičitý

Contact us generico

Kontaktujte nás

Telefon: 235 097 520 

Fax: 235 097 525

siad@siad.cz

 

Silicon Tetrafluoride

Fluorid křemičitý, SiF4, je bezbarvý, jedovatý, kyselý plyn.

 

Aplikace
V polovodičovém průmyslu se fluorid křemičitý používá:

  • pro implantace iontů a v kombinaci se silanem pro plazmové nanášení fluorovaného oxidu křemičitého;
  • někdy jako modulátor rychlosti leptání křemíku v plazmovém leptání.

Kompatibilita materiálů
Kovy: nerezová ocel; uhlíková ocel, 
Plasty: Kel-F.

Technické vlastnosti: 
Molekulová hmotnost: 104,08
Specifická hmotnost (vzduch = 1) : 3,7
Zápach: pronikavý
CAS registrační číslo: 7783-61-1