Contact us generico

Kontaktujte nás

Telefon: 235 097 520 

Fax:      235 097 525

siad@siad.cz

 

Fluorid sírový

Fluorid sírový, SF6, je bezbarvý, nehořlavý, zkapalněný, stlačený plyn dopravovaný při tlaku nasycených par 2.200 kPa při 21°C.

Aplikace
V polovodičovém průmyslu se fluorid sírový používá:

  • jako zdroj fluoru pro vysokohustotní plazmové leptání – zajišťuje vysokou selektivitu bez vzniku vedlejších uhlíkatých produktů.

Kompatibilita materiálů
Kovy: mosaz; nerezová ocel; uhlíková ocel; hliník; měď; Monelův kov. 
Plasty: Kel-F; PTFE; FEP a PFA fluoropolymerní pryskyřice; Tefzel; PVDF; PVC. 
Elastomery: Viton; Buna-N; Neopren; polyuretany.

Technické vlastnosti: 
Molekulová hmotnost: 146,05
Specifická hmotnost (vzduch = 1) : 5,1
Zápach: žádný
CAS registrační číslo: 2551-62-4