Nitrogen Trifluoride header

Fluorid dusitý

Contact us generico

Kontaktujte nás

Telefon: 235 097 520 

Fax:      235 097 525

siad@siad.cz

 

Nitrogen Trifluoride

Fluorid dusitý, NF3, je bezbarvý, toxický, nehořlavý, korozívní plyn dopravovaný v tlakových lahvích při vysokém tlaku.

Aplikace
V polovodičovém průmyslu se fluorid dusitý používá při:

  • plazmovém a tepelném čištění CVD reaktorů.

Kompatibilita materiálů
Kovy: nerezová ocel; Monelův kov. 
Plasty: Kel-F; PTFE; FEP a PFA fluoropolymerní pryskyřice; PVDF.

Technické vlastnosti: 
Molekulová hmotnost: 71,019
Specifická hmotnost (vzduch = 1) : 2,46
Zápach: po plísni
CAS registrační číslo: 7783-54-2