Hydrogen fluoride header

Fluorovodík

Contact us generico

Kontaktujte nás

Telefon: 235 097 520 

Fax:      235 097 525

siad@siad.cz

 

Hydrogen fluoride

Fluorovodík, HF, je bezbarvý, toxický, korozívní, nehořlavý plyn dopravovaný při tlaku nasycených par 2,1 kPa při 21°C.

Aplikace
V polovodičovém průmyslu se fluorovodík používá:

  • k leptání nativního oxidu z křemíkových plátků.

Kompatibilita materiálů
Kovy: nerezová ocel; Monelův kov. 
Plasty: Kel-F; PTFE; FEP a PFA fluoropolymerní pryskyřice; PVDF. 
Elastomery: Viton.

Technické vlastnosti: 
Molekulová hmotnost: 20
Specifická hmotnost (vzduch = 1) : 0,7
Zápach: ostrý, dráždivý
CAS registrační číslo: 7664-39-3