Contact us generico

Kontaktujte nás

Telefon: 235 097 520 

Fax:      235 097 525

siad@siad.cz

 

Fosfin

Fosfin, PH3, je bezbarvý, jedovatý, hořlavý, zkapalněný, vysokotlaký plyn dopravovaný při tlaku nasycených par 4.090 kPa při 21°C.

Aplikace
V polovodičovém průmyslu se fosfin používá:

  • jako dopant n-typu, pro epitaxiální křemík (obvykle v ppm koncentracích ve směsích s vodíkem jako bilančním plynem), pro dopování vybraných oblastí křemíkového plátku použitím technik nanášení/difúze k vytvoření struktur, jako jsou emitory, source-drain a kolektorové kontakty (obvykle ve vysokých ppm až procentických koncentracích ve směsích s dusíkem;
  • pro dopování polykrystalického křemíku pro propojení nebo určité kondenzátory;
  • pro tvarování borofosfosilikátových skel (obvykle v procentických koncentracích ve směsích se silanem);
  • pro implantaci iontů (typicky 15 % PH3 směsi s vodíkem jako bilančním plynem v malých tlakových lahvích).

Kompatibilita materiálů
Kovy: mosaz; nerezová ocel; uhlíková ocel; Monelův kov. 
Plasty: Kel-F; PTFE; FEP a PFA fluoropolymerní pryskyřice; PVDF; Kalrez. 
Elastomery: Viton, Buna-N, Neopren; polyuretany.

Technické vlastnosti: 
Molekulová hmotnost: 34,00
Specifická hmotnost (vzduch = 1) : 1,18
Zápach: po zkažených rybách
CAS registrační číslo: 7803-51-2