Contact us generico

Kontaktujte nás

Telefon: 235 097 520 

Fax:      235 097 525

siad@siad.cz

 

Halocarbon 116

Halokarbon-116, C2F6, (hexafluoretan) je bezbarvý, nehořlavý plyn dopravovaný jako nezkapalněný plyn při tlaku nasycených par 2.965 kPa při 21°C.

Aplikace
Jako zvláště univerzální leptací činidlo se halokarbon-116 může používat k selektivnímu leptání polykřemíku vs. SiO2.
Kovové silicidy a oxidy jsou selektivně leptány proti jejich kovovým substrátům a přidáním kyslíku O2.se provádí stripování fotorezistů. 
Vzhledem k nízkému poměru F:C se C2F6 rovněž používá k selektivnímu leptání SiO2 na křemíku.

Kompatibilita materiálů
Kovy: mosaz; nerezová ocel; uhlíková ocel; hliník; zinek; měď; Monelův kov. 
Plasty: Kel-F, PTFE; FEP a PFA fluoropolymerní pryskyřice; Tefzel; PVDF. 
Elastomery: Viton, Buna-N, Neopren; polyuretany.

Technické vlastnosti: 
Molekulová hmotnost: 138,01
Specifická hmotnost (vzduch = 1) : 4,8
Zápach: slabě éterický
CAS registrační číslo: 76-16-4