Contact us generico

Kontaktujte nás

Telefon: 235 097 520 

Fax:      235 097 525

siad@siad.cz

 

Halocarbon 14

Halokarbon-14, CF4, (tetrafluormetan) je bezbarvý, nehořlavý, vysokotlaký plyn.

Aplikace
S přidaným kyslíkem se halokarbon-14 (obvykle v koncentraci >80%) používá k plazmovému leptání polykřemíku, oxidu křemičitého, nitridu křemíku, obtížně tavitelných kovů a kovových silicidů. Leptání a stripování fotorezistů a dalších polymerů patří rovněž mezi hlavní použití směsí CF4 (obvykle <20 %) s kyslíkem.

Kompatibilita materiálů
Kovy: mosaz; nerezová ocel; uhlíková ocel; hliník; měď; Monelův kov. 
Plasty: Kel-F, PTFE; FEP a PFA fluoropolymerní pryskyřice; Tefzel; PVDF. 
Elastomery: Viton; Buna-N; Neopren; polyuretany.

Technické vlastnosti: 
Molekulová hmotnost: 88
Specifická hmotnost (vzduch = 1) : 3,04
Zápach: žádný
CAS registrační číslo: 75-23-0