Halocarbon 218 header
Halokarbon 218
Contact us generico
Halocarbon 218
Halokarbon-218, C3F8 (oktafluoropropan) je bezbarvý, netoxický, nehořlavý plyn dopravovaný při tlaku nasycených par 48 kPa při 21°C.
Aplikace
V polovodičovém průmyslu se halokarbon-218 používá pro:
- plazmové leptání a čištění SiO2 v CVD reaktoru.
Kompatibilita materiálů
Kovy: mosaz; nerezová ocel; uhlíková ocel; hliník; zinek; měď; Monelův kov.
Plasty: Kel-F, PTFE, FEP a PFA fluoropolymerní pryskyřice; Tefzel; PVDF; PVC; Kalrez.
Elastomery: Viton; Buna-N; Neopren; polyuretany.
Technické vlastnosti:
Molekulová hmotnost: 188
Specifická hmotnost (vzduch = 1) : 6,7
Zápach: nasládlý
CAS registrační číslo: 76-19-2