Halokarbon 218 | SIAD

Halokarbon-218, C₃F₈ (oktafluoropropan) je bezbarvý, netoxický, nehořlavý plyn dopravovaný při tlaku nasycených par 48 kPa při 21°C.

Aplikace
V polovodičovém průmyslu se halokarbon-218 používá pro:

• plazmové leptání a čištění SiO₂ v CVD reaktoru.

Kompatibilita materiálů
Kovy: mosaz; nerezová ocel; uhlíková ocel; hliník; zinek; měď; Monelův kov. 
Plasty: Kel-F, PTFE, FEP a PFA fluoropolymerní pryskyřice; Tefzel; PVDF; PVC; Kalrez. 
Elastomery: Viton; Buna-N; Neopren; polyuretany.

Technické vlastnosti: 
Molekulová hmotnost: 188
Specifická hmotnost (vzduch = 1) : 6,7
Zápach: nasládlý
CAS registrační číslo: 76-19-2