Halocarbon 23 header

Halokarbon 23

Contact us generico

Kontaktujte nás

Telefon: 235 097 520 

Fax: 235 097 525

siad@siad.cz

 

Halocarbon 23

Halokarbon-23, CHF3 (trifluormetan) je bezbarvý, nehořlavý, zkapalněný, vysokotlaký plyn dopravovaný při tlaku nasycených par 4.380 kPa při 21°C.

Aplikace
V polovodičovém průmyslu se halokarbon-23 používá při:

  • plazmovém leptání, zejména SiO2 a Si3N4, kde lze dosáhnout dobré selektivity proti podkladovému polykřemíku. S přidaným kyslíkem lze řídit tvorbu polymeru; přídavné plyny s vysokým obsahem halogenů zlepšují selektivitu SiO2 vs. Si.

Kompatibilita materiálů
Kovy: mosaz; nerezová ocel; uhlíková ocel; měď; Monelův kov. 
Plasty: PTFE; FEP a PFA fluoropolymerní pryskyřice; PVDF. 
Elastomery: Viton; Buna-N; Neopren.

Technické vlastnosti: 
Molekulová hmotnost: 70,01
Specifická hmotnost (vzduch = 1) : 2,43
Zápach: mírně éterický
CAS registrační číslo: 76-46-7