Halocarbon 32 header

Halokarbon 32

Contact us generico

Kontaktujte nás

Telefon: 235 097 520 

Fax: 235 097 525

siad@siad.cz

 

Halocarbon 32

Halokarbon-32, CH2F2 (difluormetan) je bezbarvý, bez zápachu, hořlavý plyn dopravovaný při tlaku nasycených par 1.600 kPa při 21°C.

Aplikace
V polovodičovém průmyslu se halokarbon-32 používá při:

  • plazmovém leptání folií sloučenin křemíku.

Kompatibilita materiálů
Kovy: mosaz; nerezová ocel; uhlíková ocel; měď; Monelův kov. 
Plasty: Kel-F; PTFE; FEP a PFA fluoropolymerní pryskyřice; Tefzel; PVDF. 
Elastomery: Viton; Buna-N; Neopren; polyuretany.

Technické vlastnosti: 
Molekulová hmotnost: 52,02
Specifická hmotnost (vzduch = 1) : 1,85
Zápach: mírně éterický
CAS registrační číslo: 75-10-5