Halocarbon 32 header
Halokarbon 32
Contact us generico
Halocarbon 32
Halokarbon-32, CH2F2 (difluormetan) je bezbarvý, bez zápachu, hořlavý plyn dopravovaný při tlaku nasycených par 1.600 kPa při 21°C.
Aplikace
V polovodičovém průmyslu se halokarbon-32 používá při:
- plazmovém leptání folií sloučenin křemíku.
Kompatibilita materiálů
Kovy: mosaz; nerezová ocel; uhlíková ocel; měď; Monelův kov.
Plasty: Kel-F; PTFE; FEP a PFA fluoropolymerní pryskyřice; Tefzel; PVDF.
Elastomery: Viton; Buna-N; Neopren; polyuretany.
Technické vlastnosti:
Molekulová hmotnost: 52,02
Specifická hmotnost (vzduch = 1) : 1,85
Zápach: mírně éterický
CAS registrační číslo: 75-10-5