Halokarbon RC318

Halokarbon RC318, C₄F₈, (oktafluorcyklobutan) je nehořlavý, bezbarvý, bez zápachu, bez chuti plyn dopravovaný při tlaku nasycených par 170 kPa při 21°C.

Aplikace
V polovodičovém průmyslu se halokarbon-RC318 používá:

• v kombinaci s oxidem uhelnatým pro selektivní leptání oxidů.

Kompatibilita materiálů
Kovy: mosaz; nerezová ocel; uhlíková ocel; hliník; zinek; měď; Monelův kov. 
Plasty: Kel-F; PTFE; FEP a PFA fluoropolymerní pryskyřice; Tefzel; PVDF; PVC; Kalrez. 
Elastomery: Viton; Buna-N; Neopren; polyuretany.

Technické vlastnosti: 
Molekulová hmotnost: 200,03
Specifická hmotnost (vzduch = 1) : 7,3
Zápach: žádný
CAS registrační číslo: 115-25-3