Halocarbon RC318 header
Halokarbon RC318
Contact us generico
Halocarbon RC318
Halokarbon RC318, C4F8, (oktafluorcyklobutan) je nehořlavý, bezbarvý, bez zápachu, bez chuti plyn dopravovaný při tlaku nasycených par 170 kPa při 21°C.
Aplikace
V polovodičovém průmyslu se halokarbon-RC318 používá:
- v kombinaci s oxidem uhelnatým pro selektivní leptání oxidů.
Kompatibilita materiálů
Kovy: mosaz; nerezová ocel; uhlíková ocel; hliník; zinek; měď; Monelův kov.
Plasty: Kel-F; PTFE; FEP a PFA fluoropolymerní pryskyřice; Tefzel; PVDF; PVC; Kalrez.
Elastomery: Viton; Buna-N; Neopren; polyuretany.
Technické vlastnosti:
Molekulová hmotnost: 200,03
Specifická hmotnost (vzduch = 1) : 7,3
Zápach: žádný
CAS registrační číslo: 115-25-3