Dopant gases header

Legující plyny (dopanty)

Contact us generico

Kontaktujte nás

Telefon: 235 097 520 

Fax:      235 097 525

siad@siad.cz

 

Dopant gases

Dopantové plyny jsou zdrojem řízených nečistot používaných k modifikaci lokálních elektrických vlastností polovodičových materiálů. 

Konkrétně dopant přispívá buď deficitem elektronů (p-dopant) nebo přebytkem elektronů (n-dopant) k lokální struktuře molekulární krystalické mřížky, což naopak mění vodivost materiálu. Dopanty se dodávají v kapalném, pevném a plynném skupenství. Běžné plynné n-dopanty jsou arsin a fosfin. Běžný plynný p-dopant je diboran. Dopanty se používají v epitaxiálním nanášení, difúzi a implantaci iontů. 

Hlavní oblast růstu pro použití arsinu a fosfinu je výroba plátků nazývaných „III-V zařízení“ použitím epitaxe v parní fázi (VPE) nebo častěji metody nanášení organokovových chemických par (MOCVD). 

SIAD dodává celý sortiment dopantových plynů.