Etchant gases header

Leptací plyny

Contattaci Gas Speciali

Kontakt

Pro více informaci nás kontaktujte

E-mail: siad@siad.eu

Etchant gases

Řada plynů se používá v leptacích procesech. Leptací činidla zahrnují fluorované uhlovodíky a další fluorované sloučeniny. 

V současné době jsou nejdůležitější plyny halokarbon 14, halokarbon 23, halokarbon 116 a fluorid dusitý. Tyto leptací plyny reagují s křemíkem, oxidem křemičitým a nitridem křemíku. 

Halokarbony se běžně používají k leptání sloučenin křemíku, zatímco další sloučeniny chlóru a fluoru jsou obvykle nutné k leptání kovových propojení. 

Výběr plynu je silně závislý na schopnosti dané směsi plynů selektivně leptat jednu folii za přítomnosti jiné s dostatečným stupněm řízení profilu.