Metylsilan header
Metylsilan
Contact us generico
Metylsilan
Metylsilan, CH3SiH3, je hořlavý, bezbarvý, zkapalněný, stlačený plyn dopravovaný při tlaku nasycených par 1.330 kPa při 21°C.
Aplikace
Ve výrobě polovodičů se metylsilan používá pro:
- epitaxi karbidu křemíku;
- suchý zpracovatelný fotorezist. ;
Kompatibilita materiálů
Kovy: nerezová ocel; uhlíková ocel.
Plasty: Kel-F.
Technické vlastnosti:
Molekulová hmotnost: 46,15
Specifická hmotnost (vzduch = 1) : 1,6
Zápach: středně odpudivý
CAS registrační číslo: 992-94-9