Metylsilan

Metylsilan, CH₃SiH₃, je hořlavý, bezbarvý, zkapalněný, stlačený plyn dopravovaný při tlaku nasycených par 1.330 kPa při 21°C.

Aplikace
Ve výrobě polovodičů se metylsilan používá pro:

• epitaxi karbidu křemíku;
• suchý zpracovatelný fotorezist. ;

Kompatibilita materiálů
Kovy: nerezová ocel; uhlíková ocel. 
Plasty: Kel-F.

Technické vlastnosti: 
Molekulová hmotnost: 46,15
Specifická hmotnost (vzduch = 1) : 1,6
Zápach: středně odpudivý
CAS registrační číslo: 992-94-9