Reakční plyny header

Reakční plyny

Contact us generico

Kontaktujte nás

Telefon: 235 097 520 

Fax:      235 097 525

siad@siad.cz

 

Reakční plyny

Reakční plyny zahrnují amoniak, oxid dusný, chlorovodík a fluorid wolframový.

Amoniak se typicky používá buď se silanem nebo dichlorsilanem za vzniku vrstev nitridu křemíku při nanášení chemických par. Fólie nitridu křemíku se používají jako pasivační vrstvy nebo mezivrstvová dielektrika v polovodičových zařízeních.

Oxid dusný se používá jako zdroj kyslíku ve fóliích oxidu křemičitého v procesu nanášení chemických par. Oxid dusný dodávaný jako zkapalněný plyn je silné oxidační činidlo při teplotách vyšších než 300°C. Oxid dusný se rovněž používá v procesech stripování fotorezistů.

Chlorovodík se používá k leštění a leptání plátků před nanášením. Chlorovodík odstraňuje povrchové vady v plátků způsobené mechanickým leštěním a manipulací. Rovněž se používá s malým množstvím kyslíku v reakci s („getrem“) kovovými nečistotami, které jsou potenciálně škodlivé pro procesy polovodičů z kovových oxidů (MOS).

Fluorid wolframový je bezbarvá, nehořlavá, korozívní kapalina používaná jako CVD zdroj wolframu nebo v kombinaci se silanem.