Použití atmosfér na bázi etylenoxidu a oxidu uhličitého je nejběžnější technologie používaná při sterilizaci předmětů měnících se teplem nebo výrobků na jedno použití z následujících důvodů:

• jsou velmi účinné;
• dobře difundují obalovým materiálem;
• neabsorbují se do výrobku;
• technické faktory, jako změny v odolnosti, deformaci a toxicitě materiálů, nehrají roli;
• nezpůsobují estetické/funkční problémy (žloutnutí, zakalení).

Etylenoxid je rovněž mimořádně účinný proti mikroorganismům, sporám (typická forma 5x až 10x silnější než běžné bakterie), plísním a kvasinkám a mohou inaktivovat viry. 

Etylenoxid a jeho směsi s oxidem uhličitým se používají v biolékařském průmyslu při výrobě plastových pomůcek na jedno použití pro hemodialýzu, operace srdce, autotransfúzi, plazmaferézu, filtraci krve atd. 

Rychlost sterilizace závisí na teplotě, délce působení, koncentraci plynu a vlhkosti. Pro dosažení maximálního sterilizačního účinku je možné pracovat s koncentracemi od 400 do 1000 mg/l. Při každém použití pro jiný účel je třeba vždy provádět pokusné testy, aby bylo možné určit potřebný pracovní cyklus.