Contact us generico

Kontaktujte nás

Telefon: 235 097 520 

Fax:      235 097 525

siad@siad.cz

 

Silane

Silan, SiH4, je bezbarvý, samozápalný, vysokotlaký plyn.

Aplikace
V polovodičovém průmyslu se silan používá pro:

  • polykrystalické nanášení pro propojení nebo maskování;
  • růst epitaxiálního křemíku;
  • nanášení chemických par oxidu křemičitého, nitridu a karbidu křemíku a obtížně tavitelných kovů;
  • zdroj křemíku pro implantace, přípravky z amorfního křemíku, jako jsou fotosenzitivní bubny nebo solární články;
  • nanášení tenkých vrstev na ploché sklo.

Kompatibilita materiálů
Kovy: mosaz; nerezová ocel; uhlíková ocel; měď; Monelův kov. 
Plasty: Kel-F, PTFE, FEP a PFA fluoropolymerní pryskyřice; Tefzel; PVDF, PVC. 
Elastomery: Viton; Buna-N; Neopren.

Technické vlastnosti: 
Molekulová hmotnost: 32,12
Specifická hmotnost (vzduch=1): 1.11
Zápach: odpudivý, dusivý
CAS registrační číslo: 7803-62-5