Trichlorsilan, HSiCl₃, je bezbarvá, korozívní, hořlavá kapalina s dráždivým dusivým zápachem.

Aplikace
Čistý trichlorsilan se používá:

• v organo-silikonových chemických procesech;
• ve výrobě polovodičů, epitaxiální nanášení křemíku, zejména pro silnější vrstvy (>5 mikronů), kde prudký přechodový profil a přesné řízení procesu v tloušťce vrstvy nejsou kritické;

Kompatibilita materiálů 
Kovy: nerezová ocel; uhlíková ocel; Monelův kov. 
Plasty: Kel-F, PTFE.

Technické vlastnosti: 
Molekulová hmotnost: 135,5
Specifická hmotnost (vzduch = 1): 4,7
Zápach: dráždivý, dusivý
CAS registrační číslo: 10025-78-2