Trichlorosilane header
Trichlorsilan
Contact us generico
Trichlorosilane
Trichlorsilan, HSiCl3, je bezbarvá, korozívní, hořlavá kapalina s dráždivým dusivým zápachem.
Aplikace
Čistý trichlorsilan se používá:
- v organo-silikonových chemických procesech;
- ve výrobě polovodičů, epitaxiální nanášení křemíku, zejména pro silnější vrstvy (>5 mikronů), kde prudký přechodový profil a přesné řízení procesu v tloušťce vrstvy nejsou kritické;
Kompatibilita materiálů
Kovy: nerezová ocel; uhlíková ocel; Monelův kov.
Plasty: Kel-F, PTFE.
Technické vlastnosti:
Molekulová hmotnost: 135,5
Specifická hmotnost (vzduch = 1): 4,7
Zápach: dráždivý, dusivý
CAS registrační číslo: 10025-78-2