Contact us generico

Kontaktujte nás

Telefon: 235 097 520 

Fax:      235 097 525

siad@siad.cz

 

Trichlorosilane

Trichlorsilan, HSiCl3, je bezbarvá, korozívní, hořlavá kapalina s dráždivým dusivým zápachem.

Aplikace
Čistý trichlorsilan se používá:

  • v organo-silikonových chemických procesech;
  • ve výrobě polovodičů, epitaxiální nanášení křemíku, zejména pro silnější vrstvy (>5 mikronů), kde prudký přechodový profil a přesné řízení procesu v tloušťce vrstvy nejsou kritické;

Kompatibilita materiálů 
Kovy: nerezová ocel; uhlíková ocel; Monelův kov. 
Plasty: Kel-F, PTFE.

Technické vlastnosti: 
Molekulová hmotnost: 135,5
Specifická hmotnost (vzduch = 1): 4,7
Zápach: dráždivý, dusivý
CAS registrační číslo: 10025-78-2