Contact us generico

Kontaktujte nás

Telefon: 235 097 520 

Fax: 235 097 525

siad@siad.cz

 

Trimethylboron

Trimetylborát, B(CH3)3, je pyroforický, bezbarvý, toxický plyn.

Aplikace
V polovodičovém průmyslu se trimetylborát používá:

  • jako zdroj bóru pro simultánní nanášení bóru a uhlíku nebo jako zdroj bóru v BPSG nanášení.

Kompatibilita materiálů
Kovy: nerezová ocel; uhlíková ocel. 
Plasty: Kel-F.

Technické vlastnosti: 
Molekulová hmotnost: 55,92
Specifická hmotnost (vzduch = 1) : 1,9
Zápach: odpudivý
CAS registrační číslo: 593-90-8