Fluorid wolframový header

Fluorid wolframový

Contact us generico

Kontaktujte nás

Telefon: 235 097 520 

Fax:      235 097 525

siad@siad.cz

 

Fluorid wolframový

Fluorid wolframový, WF6, je bezbarvý, toxický, nehořlavý, korozívní plyn dopravovaný v niklových tlakových lahvích.

Aplikace
V polovodičovém průmyslu se fluorid wolframový používá pro:

  • nízkotlaké nebo plazmatem zlepšené CVD wolframu a silicidů wolframu.

Kompatibilita materiálů
Kovy: nerezová ocel; nikl; Monelův kov. 
Plasty: Kel-F; PTFE; FEP a PFA fluoropolymerní pryskyřice; Tefzel; PVDF; PVC.

Technické vlastnosti: 
Molekulová hmotnost: 297,84
Specifická hmotnost (vzduch = 1) : 10,8
Zápach: žádný
CAS registrační číslo: 7783-82-6