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Ätzgase

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Etchant gases

In den Verätzungsprozessen werden zahlreiche Gase eingesetzt. Ätzmittel schließen Fluorkohlenwasserstoffe und andere fluorierte Materialien ein.
Die wichtigsten Gase sind heutzutage Halocarbon-14, Halocarbon-23, Halocarbon-116 und Stickstofftrifluorid. Diese Ätzgase reagieren mit Silicium, Sliliciumdioxid und Siliciumnitrid.
Die halogenierten Kohlenstoffe werden bezeichnender Weise eingesetzt, um Siliciumverbindungen zu verätzen, während die Chlor- und Fluorverbindungen benötigt werden, um metallische Verbindungen zu verätzen.
Die Wahl des jeweiligen Gases hängt stark von der Fähigkeit eines bestimmten Gasgemisches ab, mit einem ausreichenden Grad an Profilkontrolle nur eine einzelne Schicht von mehreren vorhandenen Schichten zu verätzen.