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Arsine

Arsen, AsH3, ist ein farbloses, giftiges, entzündliches, verflüssigtes und komprimiertes Gas.

Anwendungen
Reines Arsen wird eingesetzt:

  • in der Halbleiterherstellung wird Arsen als n-Typ-Dotiergas für epitaxiales Silicium (oft in Mischungen mit Wasserstoff) eingesetzt
  • um bestimmte Bereiche von Siliciumwafern mit Abscheidungs-/Diffusionstechniken zu dotieren und oberflächliche Strukturen zu bilden, wie z.B. Impulsgeber oder Quellen-Trockenkontakte (in der Regel mit hohem ppm bei anteiligen Mischungen mit Wasserstoff)
  • oder um bestimmte Bereiche über die Ionenimplantation zu dotieren (oft in Verbindung mit Wasserstoff)
  • in verschiedenen chemischen Reaktionen.

Materialkompatibilität
Metalle: Messing; Edelstahl; C-Stahl; Kupfer; Monelmetall; Hastelloy C.
Kunststoffe: Kel-F; PTFE; Nylon.
Elastomere: Viton.

Technische Eigenschaften
Molekulares Gewicht: 77,95
Spezifisches Gewicht (Luft = 1): 2,7
Geruch: knoblauchähnlich
CAS Register-Nr.: 7784-42-1