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Atmosphärische Gase

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Atmospherics gases

Atmosphärische-/Abführgase werden eingesetzt, um bestimmte Prozesssysteme und Geräte zu reinigen, wenn ein Halbleiterhersteller sich um mögliche Rückkontamination der eigenen Leitungsrohre sorgt.

SIAD bietet eine komplette Produktpalette an atmosphärischen Gasen.

Stickstoff, Sauerstoff, Wasserstof, Argon und Helium werden den Halbleiterherstellern sowohl in Zylindern als auch in größeren Mengen im Block geliefert. Einige Verfahren, wie das Sputtering, benötigen nur kleine Mengen Gas und machen die Verwendung einzelner Zylinder, für Argon zum Beispiel, günstiger. Bei der Sputtering-Technologie läuft der Prozess in einem Vakuum ab, in dem die Argonionen in einem elektrischen Feld beschleunigt werden.
Durch die physische Bombardierung schlagen die Argonionen auf jene atomare oder molekulare Cluster der Oberfläche eines soliden Ziels. Ausgestoßenes Material wird auf einem Wafer und den Wänden der Sputtering-Kammer abgelagert.

Andere Verwendungen atmosphärischer Gase sind unter anderem:

  • Helium für Backside-Kühlung
  • Wasserstoff für das Nachglühen von Metall
  • Sauerstoff für verätzende Polymere
  • Fluorkohlenwasserstoffe für die Verätzung von Siliciumdioxid und Siliciumnitrid.

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