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Bor-11-Trifluorid

Bor-11-Trifluorid (angereichert), 11BF3, ist ein farbloses, toxisches, nicht endzündliches, korrodierendes Hochdruckgas.

Anwendungen
In der Halbleiterindustrie wird Bor-11-Trifluorid eingesetzt für:

  • die p-Typ-Diffusion in Silicium
  • die Ionenimplantation.

Materialkompatibilität
Metalle: Messing; Edelstahl; C-Stahl; Kupfer; Monelmetall.
Kunststoffe: Kel-F; Fluorpolymerharze wie PTFE, FEP und PFA; Tefzel; PVDF; Polyvinylchlorid.
Elastomere: Viton.

Technische Eigenschaften
Molekulares Gewicht: 68,00
Spezifisches Gewicht (Luft = 1): 2,4
Geruch: stechend, erstickend
CAS Register-Nr.: 7637-07-2