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Bortrichlorid

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Bortrichlorid

Bortrichlorid, BCl3, ist eine farblose, toxische, nicht entzündliche und korrodierende Flüssigkeit, die bei ihrem Dampfdruck von 4,4 psig (30 kPa) und bei 70°F (21°C) abgefüllt wird.

Anwendungen
In der Halbleiterindustrie wird Bortrichlorid eingesetzt für:

  • die p-Typ-Zerstreuung in Silicium
  • die Ionenimplantation
  • die Plasmaverätzung von Metallen.

Materialkompatibilität
Metalle: Edelstahl; C-Stahl; Kupfer; Monelmetall.
Kunststoffe: Kel-F; Fluorpolymerharze wie PTFE, FEP und PFA; Tefzel; PVDF; Polyvinylchlorid.
Elastomere: Viton.

Technische Eigenschaften
Molekulares Gewicht: 117,17
Spezifisches Gewicht (Luft = 1): 4,0
Geruch: stechend, irritierend
CAS Register-Nr.: 10294-34-5