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Bortrifluorid

Bortrifluorid, BF3, ist ein farbloses, toxisches, nicht endzündliches und korrodierendes Hochdruckgas.

Anwendungen
In der Halbleiterindustrie wird Bortrifluorid eingesetzt für:

  • die p-Typ-Diffusion im Silicium
  • die Ionenimplantation.

Materialkompatibilität
Metalle: Messing; Edelstahl; C-Stahl; Kupfer; Monelmetall.
Kunststoffe: Kel-F; Fluorpolymerharze wie PTFE, FEP und PFA; Tefzel; Polyvinylchlorid; PVDF.
Elastomere: Viton.

Technische Eigenschaften
Molekulares Gewicht: 67,81
Spezifisches Gewicht (Luft = 1): 2,4
Geruch: stechend, erstickend
CAS Register-Nr.: 7637-07-2