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Bromwasserstoff

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Hydrogen bromide

Bromwasserstoff, HBr, ist ein farbloses, toxisches, korrodierendes Gas, das bei seinem Dampfdruck von 320 psig (2200 kPa) und bei 70°F (21°C) abgefüllt wird.

Anwendungen
In in der Halbleiterindustrie wird Bromwasserstoff eingesetzt für:

  • die Plasmaverätzung von Polysilicium.

Materialkompatibilität
Metalle: Edelstahl; C-Stahl; Monelmetall.
Kunststoffe: Fluorpolymerharze wie PTFE, FEP und PFA; PVDF.
Elastomere: Viton.

Technische Eigenschaften
Molekulares Gewicht: 80,92
Spezifisches Gewicht (Luft = 1): 2,8
Geruch: sehr irritierend
CAS Register-Nr.: 10035-10-6