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Chlorine

Chlor, Cl2, ist ein grün-gelbliches, toxisches, nicht entzündliches, korrodierendes Gas, das bei seinem Dampfdruck von 85 psig (586 kPa) und bei 70°F (21°C) abgefüllt wird.

Anwendungen
In der Halbleiterindustrie wird Chlor eingesetzt für:

  • die Plasmaverätzung von Aluminium- und anderen Metallschichten.

Materialkompatibilität
Metalle: Edelstahl; C-Stahl; Monelmetall.
Kunststoffe: Kel-F; Fluorpolymerharze wie PTFE, FEP und PFA; Tefzel; Kalrez; PVDF.
Elastomere: Viton.

Technische Eigenschaften
Molekulares Gewicht: 70,91
Spezifisches Gewicht (Luft = 1): 2,5
Geruch: stechend, irritierend
CAS Register-Nr.: 7782-50-5