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Chlorwasserstoff

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Hydrogen chloride

Chlorwasserstoff, HCl ist ein farbloses, giftiges, höchst toxisches, korrodierendes, nicht entzündliches und verflüssigtes Gas mit einem stechenden Geruch.

Anwendungen
Reiner Chlorwasserstoff wird eingesetzt:

  • in der elektronischen Industrie als Träger für nicht flüchtige Elemente und in der selektiven Verätzung
  • in der Halbleiterherstellung: beim Verätzen von nativem Oxid vor der epitaxialen Abscheidung; in der Reinigung von CVD-Reaktoren; als Fangstoff für Feuchtigkeit in CVD-Oxiden.

Materialkompatibilität
Metalle: Edelstahl; C-Stahl; Monelmetall.
Kunststoffe: Kel-F; PTFE; PVC.
Elastomere: Viton; natürlicher Kautschuk.

Technische Eigenschaften
Molekulares Gewicht: 36,46
Spezifisches Gewicht (Luft = 1): 1,3
Geruch: stechend
CAS Register-Nr.: 7647-01-0