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Diboran

Diboran, B2H6, ist ein farbloses, instabiles, hoch toxisches und entzündliches Gas mit einem übel riechenden, süßen Geruch.

Anwendungen
Reines Diboran wird eingesetzt:

  • in der Halbleiterherstellung, als a-Typ Dotiergas für epitaxiales Silicium
  • in der Halbleiterherstellung, um bestimmte Bereiche der Siliciumwafer mit Abscheidungs-/Diffusionstechniken zu dotieren
  • um polykristallines Silicium für Verbindungsstücke oder bestimmte Kondensatoren zu dotieren
  • um bor-phosphor-silikathaltiges Glas zu bilden
  • als Wasserstoffquelle in verschiedenen chemischen Reaktionen.

Materialkompatibilität
Metalle: Messing; Edelstahl; C-Stahl; Kupfer; Monelmetall; Hastelloy.
Kunststoffe: Kel-F; PTFE, Nylon.
Elastomere: Viton.

Technische Eigenschaften
Molekulares Gewicht: 27,67
Spezifisches Gewicht (Luft = 1): 0,95
Geruch: abstoßend
CAS Register-Nr.: 19287-45-7