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Dichlorsilan

Dichlorosilan, SiH2Cl2, ist ein farbloses, giftiges, höchst toxisches, korrodierendes, endzündliches und verflüssigtes Gas mit einem scharfen, Salzsäuregeruch.

Anwendungen
Reines Dichlorsilan wird eingesetzt für:

  • in der Halbleiterherstellung als epitaxialer Silicium-Vorreitergas
  • in der Halbleiterherstellung, für die chemische Dampfabscheidung von Siliciumdioxid-Schichten oder seinen Verbindungen
  • in der Herstellung von organischen Siliciumverbindungen.

Materialkompatibilität
Metalle: Edelstahl; C-Stahl; Ni-Cu-Verbindungen; Hastelloy A, B und C; Inconel.
Kunststoffe: Kel-F; PVDF, PVC; PE (niedriges Polymer).
Elastomere: Viton.

Technische Eigenschaften
Molekulares Gewicht: 101,01
Spezifisches Gewicht (Luft = 1): 3,52
Geruch: stechend, erstickend
CAS Register-Nr.: 4109-96-0