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Disilan

Disilan, Si2H6, ist ein farbloses, giftiges, luftentzündliches, brennbares Gas mit einem abstoßenden, erwürgenden Geruch.

Anwendungen
Reines Disilan wird eingesetzt:

  • in der Halbleiterherstellung: für eine schnelle Niedrigtemperatur-Abscheidung von epitaxialem, amorphem Silicium und auf Silicium basierenden Nichtleitern
  • als Wasserstoffquelle in verschiedenen chemischen Reaktionen.

Materialkompatibilität
Metalle: Messing; Edelstahl; C-Stahl; Kupfer; Monelmetall; Hastelloy.
Kunststoffe: Kel-F; PTFE, Nylon.
Elastomere: Viton.

Technische Eigenschaften
Molekulares Gewicht: 62,22
Spezifisches Gewicht (Luft = 1): 2,15
Geruch: abstoßend, erwürgend
CAS Register-Nr.: 1590-87-0