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Fluorwasserstoff

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Hydrogen fluoride

Fluorwasserstoff, HF, ist ein farbloses, toxisches, korrodierendes, nicht entzündliches Gas, das bei seinem Dampfdruck von 0,6 psig (2,1 kPa) und bei 70°F (21°C) abgefüllt wird.

Anwendungen
In der Halbleiterindustrie wird Fluorwasserstoff eingesetzt für:

  • die native Oxidverätzung von Siliciumwafern.

Materialkompatibilität
Metalle: Edelstahl; Monelmetall.
Kunststoffe: Kel-F; Fluorpolymerharze wie PTFE, FEP und PFA; PVDF.
Elastomere: Viton.

Technische Eigenschaften
Molekulares Gewicht: 20
Spezifisches Gewicht (Luft = 1): 0,7
Geruch: scharf, irritierend
CAS Register-Nr.: 7664-39-3