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Germaniumtetrafluorid

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Germanium tetrafluoride

Germaniumtetrafluorid, GeF4, ist ein farbloses, vergiftendes, saures Gas.

Anwendungen
In der Halbleiterindustrie wird Germaniumtetrafluorid eingesetzt für>

  • die Ionenimplantation.

Materialkompatibilität
Metalle: Edelstahl; C-Stahl.
Kunststoffe: Kel-F.

Technische Eigenschaften
Molekulares Gewicht: 148,58
Spezifisches Gewicht (Luft=1): 5,16
Geruch: beißend, nach Knoblauch
CAS Register-Nr.: 7783-58-6