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Halocarbon-116

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Halocarbon 116

Halocarbon-116, C2F6, (Hexafluorethan) ist ein farbloses, nicht endzündliches Gas, das unverflüssigt bei seinem Dampfdruck von 430 psig (2965 kPa) und bei 70°F (21°C) abgefüllt wird.

Anwendungen
Halocarbon-116, ein besonders vielfältiges Ätzgas für zahlreiche Substrate, kann für selektives Ätzen von Polysilicium gegen SiO2verwendet werden.
Metallsilicium und Oxide werden selektiv gegen ihre Metallsubstrate verätzt, und lichtundurchlässiges Ausstrippen ist durch den Zusatz von O2 durchgeführt worden.
Mit seiner niedrigen F-zu-C-Ratio, C2F6 wird es auch für die selektive Verätzung von SiO2 über Silicium eingesetzt.

Materialkompatibilität
Metalle: Messing; Edelstahl; C-Stahl; Aluminium; Zink; Kupfer; Monelmetall.
Kunststoffe: Kel-F; Fluorpolymerharze wie PTFE, FEP und PFA; Tefzel; PVDF.
Elastomere: Viton; Buna-N; Neopren; Polyurethan.

Technische Eigenschaften
Molekulares Gewicht: 138,01
Spezifisches Gewicht (Luft = 1): 4,8
Geruch: leicht ätherisch
CAS Register-Nr.: 76-16-4