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Halocarbon-14

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Halocarbon 14

Halocarbon-14, CF4 ist ein farbloses, nicht entzündliches Gas.

Anwendungen
Reines Halocarbon-14 wird eingesetzt:

  • in Inertisationsanwendungen
  • als Ätzgas in der Halbleiteranwendungen.

Materialkompatibilität
Metalle: Messing; Edelstahl; C-Stahl; Kupfer; Monelmetall.
Kunststoffe: Kel-F; PTFE.
Elastomere: Viton; Buna-N; Neopren.

Technische Eigenschaften
Molekulares Gewicht: 88
Spezifisches Gewicht (Luft = 1): 3,04
Geruch: geruchlos
CAS Register-Nr.: 75-73-0