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Halocarbon-23

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Halocarbon 23

Halocarbon-23, CHF3, (Trifluormethan) ist ein farbloses, nicht endzündliches, verflüssigtes Hochdruckgas, das bei seinem Dampfdruck von 635 psig (4380 kPa) und bei 70°F (21°C) abgefüllt wird.

Anwendungen
In der Halbleiterindustrie wird Halocarbon-23 eingesetzt für:

  • die Plasmaverätzung, vor allem von SiO2 and Si3N4, wo eine gute Selektion gegen unterschwelliges Polysilicium erreicht werden kann; unter Zufuhr von Sauerstoff kann die Polymerbildung kontrolliert werden; zusätzliche wasserstoffreiche Gase verbessern die SiO2-gegen-Si Selektion.

Materialkompatibilität
Metalle: Messing; Edelstahl; C-Stahl; Kupfer; Monelmetall.
Kunststoffe: Fluorpolymerharze wie PTFE, FEP und PFA; PVDF.
Elastomere: Viton; Buna-N; Neopren.

Technische Eigenschaften
Molekulares Gewicht: 70,01
Spezifisches Gewicht (Luft = 1): 2,43
Geruch: leicht ätherisch
CAS Register-Nr.: 75-46-7