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Halocarbon-32

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Halocarbon 32

Halocarbon-32, CH2F2, (Difluormethan) ist ein farbloses, geruchloses, endzündliches Gas, das bei seinem Dampfdruck von 232 psig (1600 kPa) und bei 70°F (21°C) abgefüllt wird.

Anwendungen
In der Halbleiterindustrie wird Halocarbon-32 eingesetzt für:

  • die Plasmaverätzung von dünnen Schichten von Siliciumverbindungen.

Materialkompatibilität
Metalle: Messing; Edelstahl; C-Stahl; Kupfer; Monelmetall.
Kunststoffe: Kel-F; Fluorpolymerharze wie PTFE, FEP und PFA; Tefzel; PVDF.
Elastomere: Viton; Buna-N; Neopren; Polyurethan.

Technische Eigenschaften
Molekulares Gewicht: 52,02
Spezifisches Gewicht (Luft = 1): 1,85
Geruch: leicht ätherisch
CAS Register-Nr.: 75-10-5